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标题
Current status and challenges of bright field mask technology for high-NA lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3118578
DOI
10.1117/12.3118578 doi
其它 期刊：Photomask Japan 2026: XXXII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
作者：Yukihiro Fujimura; Mei Ebisawa; Toru Muraoka; Shota Kamibashira; Tsukasa Abe; et al
出版日期：2026-09-24
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wgx 在 2026-10-10 17:11:35 发布自四川，悬赏 40 积分
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  • 9小时前

    我顶着大太阳 我顶着大太阳 Lv4 上传了文件

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  • 13小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    17:11:38 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 13小时前

    wgx wgx Lv4 求助人 发起了本次求助

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