| 标题 |
 Beyond 10 μm Depth Ultra-High Speed Etch Process with 84% Lower Carbon Footprint for Memory Channel Hole of 3D NAND Flash over 400 Layers 相关领域
与非门
蚀刻（微加工）
闪光灯（摄影）
薄脆饼
材料科学
光电子学
闪存
足迹
电荷陷阱闪光灯
德拉姆
碳足迹
频道（广播）
纳米技术
电子工程
电气工程
温室气体
计算机科学
计算机硬件
工程类
光学
物理
图层（电子）
地质学
古生物学
海洋学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊： 作者：Yoshihide Kihara; Maju Tomura; Wataru Sakamoto; Masanobu Honda; Masayuki Kojima 出版日期：2023-06-11 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Copyright
无极微光
xjcy
Nexus
yjh123
伶俐妙海
Kao
忧郁翠彤
cdercder
OK
Criminology34
潇洒的惋清
研小白
phdbio
烟消云散
学术文献互助
初景
temp
Moonpie
Avalonx
皖公网安备34019202002308
