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  Reaction mechanism of atomic layer deposition of zirconium oxide using tris(dimethylamino)cyclopentadienyl zirconium: experimental and theoretical study 三（二甲氨基）环戊二烯基锆原子层沉积氧化锆反应机理的实验和理论研究
相关领域
锆
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期刊：Materials Advances 作者：Hye-Lee Kim; Okhyeon Kim; Yong Richard Sriwijaya; Khabib Khumaini; Romel Hidayat; et al 出版日期：2025-01-01 |
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