ARXPS studies of SiO2-SiC interfaces and oxidation of 6H SiC single crystal Si-(001) and C-(001) surfaces

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标题	ARXPS studies of SiO2-SiC interfaces and oxidation of 6H SiC single crystal Si-(001) and C-(001) surfaces
网址	http://dx.doi.org/10.1557/jmr.1994.3088
DOI	10.1557/jmr.1994.3088 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：B. Hornetz; H-J. Michel; J. Halbritter 出版日期：1994-12-01
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