Tribo-chemical atom removal in sapphire chemical mechanical polishing: Insight from ReaxFF MD and experiments

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标题	Tribo-chemical atom removal in sapphire chemical mechanical polishing: Insight from ReaxFF MD and experiments
网址	https://doi.org/10.1016/j.triboint.2025.111088
DOI	10.1016/j.triboint.2025.111088 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Sicheng Zhang; Min Zhong; Xiaobing Li; Meirong Yi; Jianfeng Chen; et al 出版日期：2025-08-10
求助人	xiebirds 在 2026-07-17 16:34:48 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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