Numerical study on the effectiveness of precursor isolation using N2 as gas barrier in spatial atomic layer deposition

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标题	Numerical study on the effectiveness of precursor isolation using N2 as gas barrier in spatial atomic layer deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S001793101...
DOI	10.1016/j.ijheatmasstransfer.2019.118642 doi
其它	期刊：International Journal of Heat and Mass Transfer 作者：Dongqing Pan 出版日期：2019-12-01
求助人	啧啧啧在 2026-07-05 17:51:08 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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