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标题
An ultra-deep TSV technique enabled by the dual catalysis-based electroless plating of combined barrier and seed layers
网址
https://www.nature.com/articles/s41378-024-00713-5.pdf
DOI
10.1038/s41378-024-00713-5 doi
其它 期刊：Microsystems & Nanoengineering
作者：Yuwen Su; Yingtao Ding; Lei Xiao; Ziyue Zhang; Yangyang Yan; et al
出版日期：2024-06-11
求助人
zhuguang_ 在 2026-08-11 16:23:32 发布自江西，悬赏 10 积分
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