Effects of Injection Volume and Temperature on Spin Coating Uniformity: an Openfoam Simulation Study

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标题	Effects of Injection Volume and Temperature on Spin Coating Uniformity: an Openfoam Simulation Study
网址	https://doi.org/10.1109/CSTIC64481.2025.11018039
DOI	10.1109/CSTIC64481.2025.11018039 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Pan Liu; Chaoyi Zheng; Tianhao Huang; Zeyang Chen; Jianming Wu; et al 出版日期：2025
求助人	二牛在 2026-06-22 16:08:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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