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标题
Suppression of Interface Damage in Igzo Tfts Using Al2o3 Protective Layer During N2o Plasma Treatment
相关领域
钝化 材料科学 X射线光电子能谱 图层(电子) 等离子体 磁滞 分析化学(期刊) 氧化物 无定形固体 降级(电信) 阈值电压 压力(语言学) 空位缺陷 远程等离子体 薄膜晶体管 光电子学 氧气 阻挡层 等离子清洗
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164912 doi
其它 期刊:Social Science Research Network
作者:Soo‐Yeon Lee; Seungyoon Shin; Jinkyu Lee; Hyun‐Jin Choi; Seong‐In Cho; et al
出版日期:2025-01-01
求助人
王英杰 在 2026-08-13 10:25:18 发布自亚太地区,悬赏 10 积分
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