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 Epitaxial growth of aluminum nitride on AlGaN by reactive sputtering at low temperature 相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：C. Duquenne; M. A. Djouadi; Pierre‐Yves Tessier; Pierre-Yves Jouan; Marie‐Paule Besland; et al 出版日期：2008-08-04 |
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