Obtainment of textured films of aluminum nitride by thermochemical nitridation of sapphire

蓝宝石 氮化物 材料科学 氮气 扩散 大气温度范围 氮化铝 化学工程 冶金 纳米技术 化学 光学 图层(电子) 热力学 有机化学 工程类 激光器 物理
作者
Kh. Sh-o. Kaltaev,N. S. Sidelnikova,S. V. Nizhankovskiy,A. Ya. Dan’ko,Monika Rom,P.V. Mateychenko,M.V. Dobrotvorskaya,А. Т. Будников
出处
期刊:Semiconductors [Springer Nature]
卷期号:43 (12): 1606-1609 被引量:4
标识
DOI:10.1134/s1063782609120069

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