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Obtainment of textured films of aluminum nitride by thermochemical nitridation of sapphire

蓝宝石 氮化物 材料科学 铝 氮气 扩散 大气温度范围 氮化铝 化学工程 冶金 纳米技术 化学 光学 图层（电子） 热力学 激光器 物理 有机化学 工程类
作者
Kh. Sh-o. Kaltaev,N. S. Sidelnikova,S. V. Nizhankovskiy,A. Ya. Dan’ko,Monika Rom,P.V. Mateychenko,M.V. Dobrotvorskaya,А. Т. Будников
出处
期刊：Semiconductors [Pleiades Publishing]
日期：2009-12-01 卷期号：43 (12): 1606-1609 被引量：4
标识
DOI：10.1134/s1063782609120069
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