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标题
Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering
脉冲直流反应磁控溅射AlN薄膜的化学成分、结构和物理性质
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 透射电子显微镜 溅射沉积 薄膜 溅射 基质（水族馆） 图层（电子） 腔磁控管 扫描电子显微镜 氮化物 压电响应力显微镜 脉冲直流 表面粗糙度 衍射 分析化学（期刊） 光电子学 光学 复合材料 铁电性 纳米技术 化学 化学工程 电介质 物理 地质学 工程类 海洋学 色谱法
网址
https://www.mdpi.com/2079-6412/13/7/1281/pdf?version=1689933...
AI链接 mdpi.com mdpi.comdoi.org
DOI
10.3390/coatings13071281 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Vladimir R. Shayapov; A L Bogoslovtseva; Sergey Chepkasov; Igor Asanov; Evgeny A. Maksimovskiy; et al
出版日期：2023-07-21
求助人
zhx 在 2025-12-03 20:52:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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