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  Deep-reactive ion etching of silicon nanowire arrays at cryogenic temperatures 相关领域
深反应离子刻蚀
材料科学
纳米光刻
硅
抵抗
纳米技术
蚀刻（微加工）
薄脆饼
反应离子刻蚀
纳米线
光电子学
各向同性腐蚀
扫描电子显微镜
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复合材料
图层（电子）
医学
替代医学
病理
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期刊：Applied physics reviews 作者：Jiushuai Xu; Andam Deatama Refino; Alexandra Delvallée; Sebastian Seibert; Christian H. Schwalb; et al 出版日期：2024-04-17 |
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