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标题
Black Al on SiON Prepared by Magnetron Sputtering
磁控溅射法制备黑色Al on SiON
相关领域
溅射沉积 光子学 材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射 光电子学 腔磁控管 光学 纳米技术 物理 薄膜
网址
https://doi.org/10.3103/s8756699024700535
DOI
10.3103/s8756699024700535 doi
其它 期刊：Optoelectronics Instrumentation and Data Processing
作者：Olga Naumova; А.В. Царев; E. G. Zaytseva; A. Yu. Petin; Yu. A. Zhivodkov; et al
出版日期：2024-08-01
求助人
Guoomeng 在 2025-12-23 15:02:14 发布自广西，悬赏 10 积分
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