Self-Aligned in 2Pitch Cell Array Transistor (S2CAT) for 4F2 Based DRAM Generation Extension - 科研通

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标题	Self-Aligned in 2Pitch Cell Array Transistor (S2CAT) for 4F2 Based DRAM Generation Extension
网址	http://dx.doi.org/10.1109/IEDM45741.2023.10413704
DOI	10.1109/IEDM45741.2023.10413704 doi
求助人	自由人在 2026-10-19 16:11:10 发布自湖南，悬赏 10 积分
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