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标题
Investigation of electron transport mechanisms and plasma uniformity control in magnetized rectangular capacitively coupled plasma reactors for advanced plasma etching
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2026.134116
DOI
10.1016/j.surfcoat.2026.134116 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Ze-Xuan Liu; Yu-Meng Cui; Quan-Zhi Zhang
出版日期：2026-12-01
求助人
nanm 在 2026-11-06 15:28:03 发布自广东，悬赏 10 积分
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