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专利、报告等 Loading effects mitigation for wet etching of high-aspect-ratio through-glass vias in thick glass |
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10.2139/ssrn.6446207
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期刊:Elsevier BV 作者:Qiuchen Xie; Wenshuai Ma; Xuan Cui; Jia Zhou; Yuhan Cui; et al 出版日期:2026-01-01 |
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(2025-6-4)