Silicon nitride assisted 1×64 optical phased array based on a SOI platform

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标题	Silicon nitride assisted 1×64 optical phased array based on a SOI platform
网址	https://doi.org/10.1364/oe.420921
DOI	10.1364/oe.420921 doi
其它	期刊：Opt Express 作者：Wang Q, Wang S, Jia L, Cai Y, Yue W, Yu M 出版日期：2021-03-01
求助人	cc 在 2026-09-25 14:09:18 发布自江苏，悬赏 10 积分
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