Top-profile-prior-constrained inversion for bottom-parameter reconstruction of extreme ultraviolet mask phase defects

已完结

文献求助详情

标题	Top-profile-prior-constrained inversion for bottom-parameter reconstruction of extreme ultraviolet mask phase defects
网址	https://doi.org/10.1364/ao.609068
DOI	10.1364/ao.609068 doi
其它	期刊：Appl Opt 作者：He J, Li S, Guan Y, Zhou G 出版日期：2026-08-01
求助人	风中的又菱在 2026-10-18 22:46:01 发布自吉林，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI6.4上传了应助文件

1秒前; 隐形羽毛完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI6.2的应助被LUMOS采纳，获得30

4秒前; Ava的应助被高点点采纳，获得10

5秒前; 老板多加折耳根完成签到，获得积分10

7秒前; ding的应助被老板多加折耳根采纳，获得10

10秒前; 老实灵安的应助被Yggdrasill采纳，获得10

13秒前; S.L完成签到，获得积分10

13秒前; Yinxb上传了应助文件

17秒前; SGOM完成签到，获得积分10

18秒前; NexusExplorer的应助被鸭梨采纳，获得10

23秒前; 温暖水杯完成签到，获得积分10

24秒前; 丘比特上传了应助文件

25秒前; 陈利发布了新的文献求助10

28秒前; yysmile完成签到，获得积分10

28秒前; Owen上传了应助文件

31秒前; 愉快八宝粥发布了新的文献求助10

31秒前; wdddr发布了新的文献求助10

34秒前; 和谐如彤完成签到，获得积分10

35秒前; 深情安青上传了应助文件

37秒前; 田様的应助被失眠煜祺采纳，获得10

39秒前; 初景的应助被令狐秋双采纳，获得20

39秒前; 精明的水杯发布了新的文献求助10

41秒前; 黄同学完成签到，获得积分10

43秒前; hazekurt完成签到，获得积分10

45秒前; 152455上传了应助文件

52秒前; Ava上传了应助文件

1分钟前; 在水一方的应助被rightful采纳，获得10

1分钟前; 麦斯威尔完成签到，获得积分10

1分钟前; 高点点发布了新的文献求助10

1分钟前; luohaoran上传了应助文件

1分钟前; 乐乐的应助被谦文采纳，获得10

1分钟前; 又饿又困完成签到，获得积分10

1分钟前; 希望天下0贩的0的应助被焉识采纳，获得10

1分钟前; 细腻海瑶完成签到，获得积分10

1分钟前; Hello上传了应助文件

1分钟前; 乐乐上传了应助文件

1分钟前; 妙竹完成签到，获得积分10

1分钟前; 123完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被老实的若山采纳，获得10

1分钟前