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标题
Multiscale Computational Fluid Dynamics Modeling of Thermal and Plasma Atomic Layer Deposition: Application to Chamber Design and Process Control
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/d9a3830d74c78735cfd21b...
DOI
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其它 期刊：
作者：Yichi Zhang
出版日期：2021-01-01
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啧啧啧 在 2026-07-05 17:38:12 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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