Non-destructive measurement for ultra-thin subsurface damage layer of single-crystal diamond substrates in ultra-precision machining based on ellipsometry assisted by white light interferometry - 科研通

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标题	Non-destructive measurement for ultra-thin subsurface damage layer of single-crystal diamond substrates in ultra-precision machining based on ellipsometry assisted by white light interferometry
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.measurement.2026.123157
DOI	10.1016/j.measurement.2026.123157 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Ziqing Li; Subiao Bian; Han Tong; Jing Lu; Xipeng Xu; et al 出版日期：2026-09-01
求助人	长度2到在 2026-09-16 16:02:12 发布自印度，悬赏 10 积分
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