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 Quantitative evaluation of polished SiC surface quality and material removal efficiency based on the synergistic effect of ultrasonic chemical corrosion 基于超声化学腐蚀协同效应的抛光SiC表面质量和材料去除效率定量评价
相关领域
材料科学
腐蚀
质量（理念）
冶金
超声波传感器
复合材料
曲面（拓扑）
化学成分
表面粗糙度
压痕硬度
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| 其它 |
期刊：Ceramics International 作者：Linzheng Ye; Zexiao Wang; Xijing Zhu; Shida Chuai; Boyang Lv; et al 出版日期：2025-09-13 |
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