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 Quantitative characterization of roughness and polarization on very rough surfaces using spectroscopic ellipsometry 使用光谱椭偏法定量表征非常粗糙表面的粗糙度和偏振
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期刊：Measurement 作者：Subiao Bian; Changcai Cui; Oriol Arteaga 出版日期：2025-03-08 |
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