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  Wet Anisotropic Etching Characteristics of Si{111} in KOH-Based Solution Si{111}在KOH基溶液中的湿法各向异性刻蚀特性
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
各向异性
复合材料
化学工程
光学
工程类
物理
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：ACS omega 作者：X.F. Yu; Yinghua Ye; Peng Zhu; Lizhi Wu; Ruiqi Shen; et al 出版日期：2025-01-14 |
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