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 Plasma parameters analysis in DC and RF magnetron sputtering using finite element method 直流和射频磁控溅射等离子体参数的有限元分析
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期刊：Physica Scripta 作者：N Z Calderon; Carlo Eduardo Becerra Ahumada; Jhan Carlo Espinoza; Jaime Jean Paul Carreño La Rosa; H. Torreblanca; et al 出版日期：2025-09-26 |
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