Plasma parameters analysis in DC and RF magnetron sputtering using finite element method

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标题	Plasma parameters analysis in DC and RF magnetron sputtering using finite element method 直流和射频磁控溅射等离子体参数的有限元分析
网址	https://doi.org/10.1088/1402-4896/ae0c48
DOI	10.1088/1402-4896/ae0c48 doi
其它	期刊：Physica Scripta 作者：N Z Calderon; Carlo Eduardo Becerra Ahumada; Jhan Carlo Espinoza; Jaime Jean Paul Carreño La Rosa; H. Torreblanca; et al 出版日期：2025-09-26
求助人	Lecyel 在 2025-12-25 13:54:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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