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标题
Increasing bushing temperature via a heating tube for performance enhancement of ion implanters
相关领域
材料科学 衬套 性能增强 复合材料 管（容器） 绩效改进 低温 性能预测 离子 光电子学 温度测量
网址
https://doi.org/10.1016/j.ijheatfluidflow.2025.110214
DOI
10.1016/j.ijheatfluidflow.2025.110214 doi
其它 期刊：International Journal of Heat and Fluid Flow
作者：Yong-Ju Shin; Hyo Jun Sim; Jong Jin Hwang; Seung Jae Moon
出版日期：2025-12-24
求助人
风中的台灯 在 2026-01-27 10:52:24 发布自中国，悬赏 10 积分
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