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 Increasing bushing temperature via a heating tube for performance enhancement of ion implanters 相关领域
材料科学
衬套
性能增强
复合材料
管（容器）
绩效改进
低温
性能预测
离子
光电子学
温度测量
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期刊：International Journal of Heat and Fluid Flow 作者：Yong-Ju Shin; Hyo Jun Sim; Jong Jin Hwang; Seung Jae Moon 出版日期：2025-12-24 |
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