Wafer-scale high-k Hf02 dielectric films with sub-5-A equivalent oxide thickness for 2D MoS2 transistors

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标题	Wafer-scale high-k Hf02 dielectric films with sub-5-A equivalent oxide thickness for 2D MoS2 transistors
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s41467-026-68584-0
DOI	10.1038/s41467-026-68584-0 doi
求助人	ljq 在 2026-01-21 19:45:07 发布自吉林，悬赏 10 积分
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