已完结
  • 文献求助详情
标题
<title>Defect reduction in the resist apply area</title>
相关领域
抵抗 光刻胶 可制造性设计 薄脆饼 可靠性(半导体) 计算机科学 还原(数学) 可靠性工程 材料科学 过程(计算) 平版印刷术 降低成本 纳米技术 光电子学 电气工程 工程类 物理 几何学 图层(电子) 管理 功率(物理) 经济 操作系统 量子力学 数学
网址
DOI
10.1117/12.139362 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:John G. Costigan; Thomas Wolf
出版日期:1993-01-14
求助人
开心的觅山 在 2026-01-18 17:54:24 发布自上海,悬赏 20 积分
下载 求助已完成,仅限求助人下载。
 
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
关注科研痛点,打通你的七经六脉
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
科研通AI6应助干净的秋柳采纳,获得10
刚刚
十三月完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
大黄完成签到,获得积分10
2秒前
隐形曼青应助wang采纳,获得30
3秒前
ayintree发布了新的文献求助10
4秒前
赘婿应助寒冷夜南采纳,获得10
4秒前
猪猪猪发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
10秒前
星辰大海应助Starshine采纳,获得10
10秒前
11秒前
123完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
111发布了新的文献求助10
12秒前
鱼湘完成签到,获得积分10
12秒前
Mercury完成签到 ,获得积分10
13秒前
单纯凝丹完成签到,获得积分10
14秒前
14秒前
heisebeileimao完成签到,获得积分10
14秒前
香蕉觅云应助GRX1110采纳,获得10
15秒前
微微发布了新的文献求助30
15秒前
zhangyapeng完成签到,获得积分10
16秒前
17秒前
科目三应助李卓航采纳,获得10
17秒前
单纯凝丹发布了新的文献求助10
17秒前
asdfzxcv应助承一采纳,获得10
19秒前
20秒前
嘿嘿发布了新的文献求助10
20秒前
JamesPei应助李亚宁采纳,获得10
21秒前
正义的续发布了新的文献求助30
21秒前
21秒前
21秒前
23秒前
23秒前
kslzf发布了新的文献求助10
26秒前
小张同学发布了新的文献求助10
26秒前
Gauss应助科研通管家采纳,获得20
28秒前
Orange应助科研通管家采纳,获得10
28秒前
YY本Y应助科研通管家采纳,获得20
28秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Encyclopedia of Reproduction Third Edition 3000
Comprehensive Methanol Science Production, Applications, and Emerging Technologies 2000
化妆品原料学 1000
1st Edition Sports Rehabilitation and Training Multidisciplinary Perspectives By Richard Moss, Adam Gledhill 600
小学科学课程与教学 500
Study and Interlaboratory Validation of Simultaneous LC-MS/MS Method for Food Allergens Using Model Processed Foods 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5642882
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4760127
关于积分的说明 15019330
捐赠科研通 4801400
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2566683
邀请新用户注册赠送积分活动 1524598
关于科研通互助平台的介绍 1484211