发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Application of femtosecond laser etching in the fabrication of bulk SiC accelerometer
飞秒激光刻蚀在块状SiC加速度计制作中的应用
相关领域
材料科学 飞秒 微电子机械系统 激光器 蚀刻（微加工） 加速度计 光电子学 光学 表面微加工 碳化硅 制作 表面粗糙度 复合材料 操作系统 医学 病理 物理 图层（电子） 计算机科学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2022.02.012
AI链接 doi.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2022.02.012 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research and Technology
作者：Yang Yu; You Zhao; Lukang Wang; Yulong Zhao
出版日期：2022-02-09
求助人
blue 在 2025-12-03 16:44:17 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Silicon-based MEMS fabrication techniques and standardization
  2. Fabrication of a high sensitivity MEMS accelerometer with symmetrical double-sided serpentine beam-m...
  3. Microripple Structures Induced by Femtosecond Laser Pulses
  4. Study of Fast Etching of Silicon for the Fabrication of Bulk Micromachined MEMS Structures
  5. Bulk micromachining fabrication platform using the integration of DRIE and wet anisotropic etching
  6. A Prototype Femtosecond Laser System for Precise Micromachining
  7. Towards MEMS Fabrication by Silicon Electrochemical Micromachining Technology
  8. Femtosecond laser micro-nano fabrication
  9. Fabrication of microresonators of high Q/V ratios using femtosecond laser micromachining
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    那时花开 那时花开 Lv917 上传了文件

    待审核 1-s2.0-S223878542200182X-main.pdf (2.33 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    16:44:21 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    16:44:18 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    16:44:17 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    blue blue Lv3 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
cardiology发布了新的文献求助10
2秒前
nymphaea完成签到 ，获得积分10
2秒前
蘑菇发布了新的文献求助10
3秒前
sss完成签到，获得积分10
3秒前
小Z发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
4秒前
4秒前
科研通AI6的应助被xdd采纳，获得30
4秒前
苏苏发布了新的文献求助10
5秒前
sleep发布了新的文献求助10
5秒前
山水完成签到，获得积分10
6秒前
11发布了新的文献求助10
8秒前
啊呆哦发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
zhoushali完成签到，获得积分10
10秒前
苏苏完成签到，获得积分10
12秒前
小二郎的应助被Hey采纳，获得10
12秒前
12秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
13秒前
缥缈树叶完成签到，获得积分10
14秒前
liwanyi发布了新的文献求助10
14秒前
ceeray23的应助被zhoushali采纳，获得10
15秒前
山海之间发布了新的文献求助10
16秒前
TTT完成签到，获得积分10
17秒前
终梦的应助被盐焗小星球采纳，获得20
18秒前
JJ完成签到 ，获得积分10
19秒前
希望天下0贩的0的应助被lw采纳，获得10
19秒前
苏梗发布了新的文献求助10
19秒前
19秒前
li发布了新的文献求助10
20秒前
22秒前
24秒前
Hey发布了新的文献求助10
27秒前
香蕉觅云的应助被寻光人采纳，获得10
28秒前
科研通AI6的应助被祁尒采纳，获得10
28秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
The Complete Pro-Guide to the All-New Affinity Studio: The A-to-Z Master Manual: Master Vector, Pixel, & Layout Design: Advanced Techniques for Photo, Designer, and Publisher in the Unified Suite 1000
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
Teacher Wellbeing: A Real Conversation for Teachers and Leaders 600
Synthesis and properties of compounds of the type A (III) B2 (VI) X4 (VI), A (III) B4 (V) X7 (VI), and A3 (III) B4 (V) X9 (VI) 500
Microbially Influenced Corrosion of Materials 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5405289
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4523606
关于积分的说明 14094385
捐赠科研通 4437378
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2435624
邀请新用户注册赠送积分活动 1427777
关于科研通互助平台的介绍 1406072
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通