Effect of rapid thermal annealing on the properties of PECVD SiNx thin films

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标题	Effect of rapid thermal annealing on the properties of PECVD SiNx thin films 快速退火对PECVD SiNx薄膜性能的影响相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学氮化硅硅烷钝化折射率硅退火（玻璃）薄膜化学气相沉积太阳能电池光电子学分析化学（期刊）图层（电子）纳米技术复合材料化学色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2007.05.028
DOI	10.1016/j.matchemphys.2007.05.028 doi
求助人	君君在 2024-02-04 16:36:50 发布自陕西，悬赏 10 积分
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