Oxidation effects on InAs/GaSb (100) films deposited by DC magnetron sputtering during post-annealing

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标题	Oxidation effects on InAs/GaSb (100) films deposited by DC magnetron sputtering during post-annealing 直流磁控溅射沉积InAs/GaSb（100）薄膜后退火过程中的氧化效应相关领域退火（玻璃）溅射沉积材料科学溅射腔磁控管高功率脉冲磁控溅射光电子学冶金分析化学（期刊）化学工程化学薄膜纳米技术环境化学工程类
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113445 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Junhong Lv; Di Yan; Shuailong Zhang; Tinglong Liu; Zhuochen Duan; et al 出版日期：2024-07-03
求助人	科研狗在 2025-08-04 20:13:25 发布自云南，悬赏 10 积分
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