Improved GZO Thin Film Structures by Nitrogen-Mediated Crystallization Process to Apply to Touch Sensing

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标题	Improved GZO Thin Film Structures by Nitrogen-Mediated Crystallization Process to Apply to Touch Sensing 应用于触摸传感的氮介导结晶工艺改进GZO薄膜结构相关领域材料科学薄膜微晶衍射仪结晶度基质（水族馆）结晶光电子学扫描电子显微镜纳米技术复合材料化学工程海洋学地质学工程类冶金
网址	https://doi.org/10.1007/s11664-023-10521-8
DOI	10.1007/s11664-023-10521-8 doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Yen-Sheng Lin; Chia-Hsien Teng; Ping-Tai Jiang 出版日期：2023-06-10
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