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标题
Rare-earth oxide thin films for gate dielectrics in microelectronics
用于微电子栅极介质的稀土氧化物薄膜
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2005.10.061
DOI
10.1016/j.jallcom.2005.10.061 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Markku Leskelä; Kaupo Kukli; Mikko Ritala
出版日期：2005-12-16
求助人
小易 在 2025-10-11 02:02:31 发布自山西，悬赏 10 积分
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