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Highly-conformal p-type copper(I) oxide (Cu2O) thin films by atomic layer deposition using a fluorine-free amino-alkoxide precursor 相关领域
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期刊:Applied Surface Science 作者:Hangil Kim; Min Young Lee; Soo‐Hyun Kim; So Ik Bae; Kyung Yong Ko; et al 出版日期:2015-05-20 |
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