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 Effect of Al substrate nitridation on the properties of AlN films grown by pulsed laser deposition and its mechanism Al衬底氮化对脉冲激光沉积生长AlN薄膜性能的影响及其机理
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Wenliang Wang; Huirong Qian; Weijia Yang; Haiyan Wang; Yunnong Zhu; et al 出版日期：2015-05-11 |
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