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 Characterization of sapphire chemical mechanical polishing performances using silica with different sizes and their removal mechanisms 相关领域
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期刊：Colloids and Surfaces A Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Yan Zhou; Guoshun Pan; Hua Gong; Xiao‐Lei Shi; Chunli Zou 出版日期：2016-09-17 |
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