Optimizing Niobium-Oxide Film Deposition via Pulsed-DC Sputtering by Dual-Stage Deep Neural Network-Gaussian Process Regression Framework

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标题	Optimizing Niobium-Oxide Film Deposition via Pulsed-DC Sputtering by Dual-Stage Deep Neural Network-Gaussian Process Regression Framework
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11496632/11496659/114979...
DOI	10.1109/edtm65772.2026.11497950 doi
其它	期刊：2026 10th IEEE Electron Devices Technology &amp; Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Gaoqi Yang; Jiajun Tan; Qingyun Zhu; Ling Liang; Lin Bao; et al 出版日期：2026-05-07
求助人	CQ 在 2026-05-12 23:59:56 发布自湖北，悬赏 30 积分
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