Overcoming the resistivity-roughness trade-off in 3D DRAM interconnects via nucleation-modulated atomic layer deposition

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标题	Overcoming the resistivity-roughness trade-off in 3D DRAM interconnects via nucleation-modulated atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ae5195
DOI	10.35848/1347-4065/ae5195 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Weidu Qin; Jiabao Sun; yayuan qin; shanshan ding; baodong han; et al 出版日期：2026
求助人	翻滚的肉夹馍在 2026-03-25 15:46:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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