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 Ru Films from Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium Using Ozone as a Reactant by Atomic Layer Deposition for Capacitor Electrodes 相关领域
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Ja-Yong Kim; Deok-Sin Kil; Jin-Hyock Kim; Se‐Hun Kwon; Ji‐Hoon Ahn; et al 出版日期：2012-01-01 |
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