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标题
[高分] Coplanar waveguide transmission lines and high Q inductors on CMOS grade silicon using photoresist and polyimide
相关领域
光刻胶 聚酰亚胺 材料科学 共面波导 电镀 光电子学 基质（水族馆） 硅 CMOS芯片 互连 电感器 图层（电子） 电气工程 电信 纳米技术 微波食品加热 工程类 海洋学 电压 地质学
网址
https://doi.org/10.1049/el:19991298
DOI
10.1049/el:19991298 doi
其它 期刊：Electronics Letters
作者：G. Ternent; Susan M. Ferguson; Z. Borsosfoldi; K. Elgaid; T. Lohdi; et al
出版日期：1999-10-28
求助人
斯文败类 在 2025-10-13 14:57:16 发布自上海，悬赏 100 积分
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