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 Research on fabrication method for floating structures using general photolithography with high versatility 高通用性通用光刻浮动结构制作方法研究
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Mitsuhiro Horade; Kai Yamada; Tasuku Yamawaki; Masahito YASHIMA 出版日期：2021-10-07 |
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