Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy

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标题	Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy 卤化物气相外延法外延纯ε-Ga2O3 相关领域外延卤化物镓气相材料科学相（物质）结晶学衍射分析化学（期刊） X射线晶体学化学光电子学无机化学光学纳米技术冶金物理有机化学图层（电子）色谱法热力学
网址	https://doi.org/10.1063/1.4929417
DOI	10.1063/1.4929417 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Yuichi Oshima; Encarnación G. Vı́llora; Yoshitaka Matsushita; Satoshi Yamamoto; Kiyoshi Shimamura 出版日期：2015-08-24
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