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 An Empirical Investigation on the Effect of Oxygen Vacancy in ZrO2 Thin Film on the Frequency-Dependent Capacitance Degradation in the Metal–Insulator–Metal Capacitor 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Dong Hee Han; Seungwoo Lee; Ji Hyeon Hwang; Youngjin Kim; M. Bonvalot; et al 出版日期：2021-09-14 |
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