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 Insight into mechanism of Friction-enhanced chemical behavior in AlN ceramic polishing process AlN陶瓷抛光过程中摩擦增强化学行为机理的探讨
相关领域
抛光
机制（生物学）
化学机械平面化
材料科学
陶瓷
过程（计算）
冶金
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物理
量子力学
操作系统
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期刊：Applied Surface Science 作者：Liang Zhao; Mingfeng Ke; Jiahuan Wang; Kaiping Feng; Tianchen Zhao; et al 出版日期：2025-07-01 |
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