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Structural and electrical properties of MOCVD-grown scandium nitride thin films on sapphire, Si, GaN, and SiC 蓝宝石、Si、GaN和SiC衬底上MOCVD生长氮化钪薄膜的结构和电学特性
相关领域
蓝宝石
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Vineeta R. Muthuraj; Claire E. Vozel; Michael Iza; Abdullah Alharbi; Abdullah Almogbel; et al 出版日期:2025-07-07 |
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