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Electrode Elastic Modulus as the Dominant Factor in the Capping Effect in Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Thin Films 电极弹性模量是铁电铪锆氧化物薄膜封盖效应的主导因素
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Megan K. Lenox; Md. Rafiqul Islam; Md Shafkat Bin Hoque; Chloe Skidmore; Alejandro Salanova; et al 出版日期:2024-12-03 |
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