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 Photoresist ashing at room temperature using a large-area, atmospheric-pressure plasma 使用大面积大气压等离子体在室温下灰化光刻胶
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Branden J. Bodner; Paul Froeter; Kuldeep Kalonia; R. Mohan Sankaran 出版日期：2025-01-01 |
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