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标题
Photoresist ashing at room temperature using a large-area, atmospheric-pressure plasma
使用大面积大气压等离子体在室温下灰化光刻胶
相关领域
灰化 光刻胶 材料科学 大气压力 等离子体 大气压等离子体 等离子清洗 复合材料 气象学 核物理学 图层（电子） 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004147
DOI
10.1116/6.0004147 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Branden J. Bodner; Paul Froeter; Kuldeep Kalonia; R. Mohan Sankaran
出版日期：2025-01-01
求助人
Katze 在 2025-12-18 16:27:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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