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Bipolar mixed-mode high-power impulse magnetron sputtering of carbon 相关领域
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期刊:Vacuum 作者:В.О. Оскирко; А. Н. Захаров; M.I. Azhgikhin; A.S. Grenadyorov; V. A. Semenov; et al 出版日期:2023-07-10 |
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