Fabrication and characterization of high-sensitivity, wide-range, and flexible MEMS thermal flow velocity sensors

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标题	Fabrication and characterization of high-sensitivity, wide-range, and flexible MEMS thermal flow velocity sensors 相关领域微电子机械系统灵敏度（控制系统）材料科学风速流速制作热的流量（数学）热导率流量测量风洞表征（材料科学）基质（水族馆）温度测量光电子学声学电子工程工程类纳米技术航空航天工程机械复合材料物理气象学量子力学病理医学地质学替代医学海洋学
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-024-00740-2.pdf AI链接 nature.com nature.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
DOI	10.1038/s41378-024-00740-2 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Min Li; Guangzhao Qin; Chen Jia; Danyu Zhang; Zhikang Li; et al 出版日期：2024-07-22
求助人	无情修杰在 2026-02-06 14:08:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
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