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  A High-Sensitivity MEMS Accelerometer Using a Sc0.8Al0.2N-Based Four Beam Structure 基于Sc0.8Al 0.2 N的四光束结构的高灵敏度MEMS加速度计
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期刊：Micromachines 作者：Zhenghu Zhang; Linwei Zhang; Zhipeng Wu; Yunfei Gao; Liang Lou 出版日期：2023-05-18 |
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